技术应用

SFQ超导低频多通道测量系统的应用：
1、制造技术表征：测量晶圆临界电流密度；JJ区域偏差；微带线与 其他版图单元的Ic与Tc参数；加工误差统计表征
2、芯片量产筛选：自动运行程序对芯片质量定性的诊断
3、SQUID传感技术：I-V和Φ -V的高分辨率多通道测量
4、复杂电路的测量：模拟/数字超导体设计的高精度高动态范围测量：ADC、DAC电压标准
5、数字 RSFQ 电路的功能测试:验证复杂测试模式上的逻辑功能，在多维度参数空间中找到操作区域
6、布局设计:测量片上电阻器的值；提取电阻阵列和复杂电阻值的参数；测量片上元件的电感

定制电子束蒸发镀膜机的应用：
1、用于LIFT-OFF工艺镀膜
2、用于GLAD工艺镀膜
3、可蒸镀金属，半导体或介质材料
4、可蒸镀铁钴镍等磁性材料
5、可蒸镀单层、多层膜或共蒸合金薄膜
6、用于量子科学、超导材料、约瑟夫结、半导体、碳基器件、石墨烯等二维半导体材料、光电微纳器件、生物薄膜及其他材料薄膜沉积

光学与芯片测试系统的应用：
功能：光波导芯片与光纤阵列的单端或双端全自动耦合。